MATERIALS GOLDREAD / ISSUE 039
让金属薄膜不再收缩：表面能补偿铺出原子级单晶平面
从去润湿失稳，到4英寸原子级平整单晶合金膜
DOI · 10.1038/s41467-025-68196-0
ISSUE039
让金属薄膜不再收缩：表面能补偿铺出原子级单晶平面
RESEARCH QUESTION / 039
按表面能排序的补偿层如何避免合金化前的横向收缩与孔洞成核？
表面能补偿沉积路线抑制了高温合金化过程中的去润湿失稳，并在论文中实现晶圆尺度单晶合金薄膜。
FULL ANALYSIS / ISSUE 039
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