MATERIALS GOLDREAD / ISSUE 036

原子为什么逆电子流迁移?

原位 TEM 揭示亚 10 nm 钨、钼纳米互连中的“迎风电迁移”

DOI · 10.1038/s41467-026-70283-9
  • 金属纳米互连
  • 电迁移
  • 原子级原位观察
材料金读 036:原子为什么逆电子流迁移?
当期封面 · Nature Communications

RESEARCH QUESTION / 036

为什么在钨、钼纳米台阶处,直接力会压过电子风力并改变原子迁移方向?

原位 TEM 追踪到亚 10 nm 钨、钼纳米互连中的表面原子可逆电子流迁移,指向直接力主导的电迁移机制。

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